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Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien

Forschungseinrichtung in DresdenFraunhofer-InstitutGegründet 2005Technisch orientiertes Forschungsinstitut

Das Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien (CNT), kurz Fraunhofer IPMS CNT, ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft. Als eines von fünf Geschäftsfeldern des Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) betreibt das Fraunhofer IPMS CNT einen eigenen Reinraum für Erprobungs- und Evaluierungsdienstleistungen für Materialien und Prozesse der Halbleitertechnik unter Industriebedingungen. Dabei stehen Prozessanlagen die Herstellung moderner Halbleiterprodukte primär auf 300-mm-Wafern zur Verfügung, unter anderem für Atomlagenabscheidung, chemisch-mechanisches Polieren, Kupfer-Plattieren und Elektronenstrahllithografie (E-Beam).Das Fraunhofer IPMS ist Mitglied in zahlreichen Forschungsnetzwerken, unter anderem dem Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik (VµE).

Auszug des Wikipedia-Artikels Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien (Lizenz: CC BY-SA 3.0, Autoren).

Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien
An der Bartlake, Dresden Rähnitz (Klotzsche)

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Adresse

Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien

An der Bartlake 5
01109 Dresden, Rähnitz (Klotzsche)
Sachsen, Deutschland
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