Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien
Das Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien (CNT), kurz Fraunhofer IPMS CNT, ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft. Als eines von fünf Geschäftsfeldern des Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) betreibt das Fraunhofer IPMS CNT einen eigenen Reinraum für Erprobungs- und Evaluierungsdienstleistungen für Materialien und Prozesse der Halbleitertechnik unter Industriebedingungen. Dabei stehen Prozessanlagen die Herstellung moderner Halbleiterprodukte primär auf 300-mm-Wafern zur Verfügung, unter anderem für Atomlagenabscheidung, chemisch-mechanisches Polieren, Kupfer-Plattieren und Elektronenstrahllithografie (E-Beam).Das Fraunhofer IPMS ist Mitglied in zahlreichen Forschungsnetzwerken, unter anderem dem Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik (VµE).
Auszug des Wikipedia-Artikels Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien (Lizenz: CC BY-SA 3.0, Autoren).Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien
An der Bartlake, Dresden Rähnitz (Klotzsche)
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Geographische Koordinaten (GPS)
Breitengrad | Längengrad |
---|---|
N 51.12650970184 ° | E 13.733524086507 ° |
Adresse
Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien
An der Bartlake 5
01109 Dresden, Rähnitz (Klotzsche)
Sachsen, Deutschland
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